従来の窒化法と異なり、NH3やN2+H2の混合ガスで窒化ができるため、無公害。したがって汚水を排出することもなく、特別な対策は不要です。高い窒素濃度のガスの衝突により、短時間で目的とする窒化層が得られ、また、比較的低温処理が可能です。
| 型式 | 設置スペース（例） | 有効加熱帯寸法 | 最大処理重量 （㎏/グロス） |
到達真空度 | 標準処理温度（℃） | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Φ | 高さ | |||||
| DPN-5065 | 2300W x 5350L x 3714H | 500 | 650 | 600 | <60Pa (0.5 Torr) | 350～570 (600以下) |
| DPN-9150 | 3080W x 4555L x 5100H | 900 | 1500 | 1000 | <60Pa (0.5 Torr) | 350～570 (600 Max) |
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