与传统的氮化法不同，由于可利用 NH3 或 N2＋H2 的混合气体进行氮化，故而无公害。因此也无污水排出，无需采取特殊措施。通过高氮浓度气体的碰撞，可在短时间内获得目标氮化层，此外，可实现相对而言的低温处理。
| 型号 | 安装空间（示例） | 有效加热带尺寸 | 最大处理重量 （㎏/gross） |
可达到真空度 | 标准处理温度（℃） | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Φ | 高度 | |||||
| DPN-5065 | 2300W x 5350L x 3714H | 500 | 650 | 600 | <60Pa (0.5 Torr) | 350～570 （600 以下） |
| DPN-9150 | 3080W x 4555L x 5100H | 900 | 1500 | 1000 | <60Pa (0.5 Torr) | 350～570 (600 Max) |
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