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■ DOWAメタルテック 金属–セラミックス基板 標準仕様 |
特性項目 |
単位 |
Cu-AlN
標準 Standard
(AMB)*1 |
Cu-AlN
3段形状 3Steps
(AMB) |
Al-AlN
アルミック ALMIC®
(溶湯接合法)*2 |
セラミック種類 |
– |
AlN |
AlN |
AlN |
機械特性 |
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抗折強度 |
初期 |
MPa |
500 |
500 |
650 |
370℃ 熱処理後 |
400 |
400 |
620 |
たわみ量 |
初期 |
mm |
0.27 |
0.28 |
0.45 |
370℃ 熱処理後 |
0.22 |
0.22 |
0.35 |
白板強度 |
MPa |
500 |
500 |
500 |
ピール強度 |
N/cm |
>150 |
>150 |
>300 |
ワイヤーボンディング強度 |
g |
>550 |
>550 |
>550 |
熱特性 |
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熱伝導率(室温) |
W/(m・K) |
≧170 |
≧170 |
≧170 |
ヒートサイクル性(-40℃/125℃) |
cycles |
>200 |
>1,000 |
>3,000 |
電気特性 |
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絶縁強度(絶縁油中) |
kV/mm |
>11 |
>11 |
>11 |
体積抵抗率(室温) |
Ω・cm |
>1×1012 |
>1×1012 |
>1×1012 |
その他 特性 |
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セラミック最大寸法 |
mm |
95×80 |
95×80 |
80×80 |
セラミック厚み |
mm |
0.38・0.635・0.8・1.0 |
0.635・0.8・1.0 |
0.635・0.8・1.0 |
金属厚み(回路/放熱板) |
mm |
0.15・0.2・0.25・0.3 |
0.15・0.2・0.25・0.3 |
0.4/0.2~0.4 |
最小パターン幅 |
mm |
1.0 |
1.5 |
1.0 |
最小パターン間隔 |
mm |
1.0 |
1.0 |
0.8 |
パターン寸法公差 |
mm |
≦±0.25 |
≦±0.25 |
≦±0.30 |
表面粗さ (Rz) |
μm |
<7 |
<7 |
<15
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反り |
mm |
≦0.1/50mm |
≦0.1/50mm |
≦0.1/50mm |
Niめっき厚み |
μm |
2~6 |
2~6 |
2~6 |
半田濡れ性 |
(%) |
≧95 |
≧95 |
≧95 |
*1. AMB: Active Metal Brazing Method(ろう材接合)
*2. Molten-Al-direct-bonding method(溶湯接合) |
表の数値は代表値であり数値を保証するものではあリません。 |
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© 2010 DOWA METALTECH CO., LTD. |
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