DOWA DOWAセミコンダクター秋田株式会社

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基板工場
基板工場では、レーザーダイオード、LEDなどのオプトデバイス向け、あるいは電子デバイス向けに、VGF法、LEC法にて、ガリウムヒ素基板の製造を行っております。
 
  1. 結晶成長
    LEC炉またはVGF炉により、ガリウムヒ素化合物の単結晶を成長させる。


  2. 加工
    結晶成長したインゴットを円筒研削、スライス、ベベル、ポリッシュ等を行い、基板の形状に加工する。


  3. 検査
    バルクの電気特性、結晶性を評価する。また、加工したウェハーの反りや、傷などの外観不良などが無いかを検査する。


  4. 梱包及び出荷
    検査終了後、梱包して配送する。